Správné zpracování tepelných dat v továrně na výrobu polovodičů
Pokud se snažíte vytvořit „chytrou továrnu“, pravděpodobně jste si uvědomili, že nestačí pouze sofistikovaný software. Nemůžete prostě koupit nějaký displej a považovat to za hotovo. Potřebujete hardwarové řešení, které skutečně dokáže komunikovat s vašimi daty.
Pokud jde o ohřev polovodičů, skutečný problém obvykle není samotný ohřívač. Problém spočívá ve zpětnovazebním mechanismu. Proto se spoléháme na vysoce efektivní infračervené systémy – ty reagují dostatečně rychle na to, aby mohly držet krok s digitalizovanou výrobní linkou.
Potíže s tepelnou zpětnovazbou
Udržení rovnoměrné teploty na povrchu čipu je velmi náročné. K dosažení tohoto cíle používáme speciální termoelementy spojené s infračervenými ohřívači.
Ale problém je v tom, že jednoduché měření teploty nestačí. Potřebujeme měření v milisekundách. Pokud je váš senzor pomalý, PID obvod překročí stanovené hodnoty. Výsledkem je tepelné napětí na silikonu, což znamená plýtvání materiálem. Naše senzory jsou navrženy tak, aby odolaly intenzivnímu teplu krátkovlnného infračerveného záření, aniž by se vyčerpaly.
Užitečnost dat
Cílem je mít digitální zobrazení procesu ohřevu. Tyto termoelementy připojujeme do systému založeného na datech, abyste mohli vidět tepelné profile v reálném čase.
Už nemusíte zírat na analogové měřiče. Všechno se stává digitálním signálem, který přichází přímo do vašeho PLC. Díky tomu máte jasnou informaci o tom, jak se teplo rozptyluje po povrchu substrátu.
Kompromisy (a nevýhody)
Vysokorychlostní data mají své nevýhody. Čím citlivější je váš termoelement, tím více trpí pod vlivem elektromagnetického šumu z zdrojů napájení. Je to problém. Pokud nepoužijete izolovaná kabeláž a správně nastavíte uzemnění, EMI se dostane do vašich signálů. A víte co? Vaše „chytrá“ data se pak stanou jen náhodným šumem.
Naše systémy jsou navrženy tak, aby mohly nahradit stávající součásti. Nemusíte demontovat celý ohřívač jen proto, abyste získali digitální data. Jde prostě o to získat čistá, spolehlivá data z horké oblasti do serveru. Jednoduché, že?